シリーズ |
槽內(nèi)寸法 mm |
*高溫度範(fàn)囲 ℃ |
加熱方式 |
槽內(nèi)到達(dá)圧力*1 Pa |
真空排気系 | 操作方式 | |
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DQ*2 | S | 300□~1000□ | 200 | 外部加熱 | ×101 | ― | 手動 |
P | 油回転真空ポンプ | ||||||
DY | P | 400□~2000□ | 300~650 | 內(nèi)部加熱 | ×101 | 油回転真空ポンプ | 自動 |
MP | ×100 |
油回転真空ポンプ メカニカルブースタ |
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DH | DP | 400□~1500□ | 300~650 | 內(nèi)部加熱 | ×10-3 |
油回転真空ポンプ 油拡散ポンプ |
自動 |
TP | ×10-4 |
油回転真空ポンプ ターボ分子ポンプ |
① 爐內(nèi)?ワーク溫度(分布)測定ユニット : 熱電対、ハーメチックポート、ハーメチックシール、記録計
② 急速冷卻ユニット : 熱交換器、ファン、モーター、水冷配管
③ パッキン保護(hù)水冷ユニット(300~650°C仕様) : 扉パッキン部、ヒーター?熱電対導(dǎo)入口パッキン部
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