IWAKI易威奇/氣動(dòng)波紋管泵FA系列
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產(chǎn)品名稱(chēng):
IWAKI易威奇/氣動(dòng)波紋管泵FA系列
產(chǎn)品型號(hào):
FA-2
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
IWAKI易威奇/氣動(dòng)波紋管泵 FA系列，用于晶圓清洗的氣動(dòng)波紋管泵，同時(shí)適用于半導(dǎo)體、液晶等領(lǐng)域。
IWAKI易威奇/氣動(dòng)波紋管泵FA系列
的詳細(xì)介紹
IWAKI易威奇/氣動(dòng)波紋管泵 FA系列 產(chǎn)品特點(diǎn)：
●用于中液體循環(huán)
●長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)
具有優(yōu)異的耐壓性能，并采用長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)，可承受長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行
●采用傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，使用泵內(nèi)置的接近開(kāi)關(guān)來(lái)切換電磁閥。它還標(biāo)配有泄漏傳感器
●操作簡(jiǎn)單
通過(guò)連接專(zhuān)用控制器，可以輕松控制和管理排放量
IWAKI易威奇/氣動(dòng)波紋管泵 FA系列 產(chǎn)品參數(shù)：
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模型
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FA-2
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FA-40VEW
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*大排放量注
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2升/分鐘
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40升/分鐘
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供氣壓力范圍
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0.2～0.4MPa
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0.1～0.4MPa
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*大耗氣量
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50NL/分鐘
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200NL/分鐘
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*大行程數(shù)
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150次/分鐘
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80次/分鐘
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主要成分
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聚四氟乙烯、聚四氟乙烯
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液體溫度范圍
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5~100℃
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