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KAIJO楷捷_超聲波精密清洗機

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產(chǎn)品名稱: KAIJO楷捷_超聲波精密清洗機
產(chǎn)品型號: 6879BK
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹


KAIJO楷捷_超聲波精密清洗機  的詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述:

KAIJO楷捷_6879BK_超聲波精密清洗機

USシャワー(両面対応)超音波洗浄機

LCD?ウェーハ基板の枚葉洗浄
特殊反射方式でレンズシャワー方式に比べ構(gòu)造がシンプルで洗浄効率が高い
■特徴

●従來のUSシャワーに比べ、約5倍の超音波強度(當(dāng)社比)が得られ洗浄効果が大幅にアップしました。
●枚葉式LCD洗浄裝置に組込み、裏面洗浄が可能。
●0.2μm以下のパーティクルをメガソニックが除去し、超精密洗浄が可能。
●高周波(950kHz)で被洗浄物へのダメージが極めて少ない。

メガソニックUSシャワースペック



項目 仕様
型名 6879BK 7979BK 78BK30-660
許容入力 600W 900W 1200W
公稱共振周波數(shù) 950kHz
有効洗浄寸法 330mm 495mm 660mm
所用水量 20~25?/分 20~30?/分 40~45?/分
ケース材質(zhì) SUS316L
振動板材質(zhì) SUS316L
接液部 複合電解研磨処理
*高使用溫度 70℃
コード長 振動子用:5M2本 振動子用:5M3本 振動子用:5M4本
センサー用:5M1本 センサー用:5M1本 センサー用:5M2本
保護回路 液面センサー(テフロン)
FU93(キーエンス)
重量 5㎏ 6㎏ 7㎏

*上記以外の振動子も製作いたします。お気軽にご相談ください。


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